第503章 时间就是金钱！特种气体之难(第1/4 页)

西蓉北郊。

西南特种电气工业公司。

虽然六月末的西蓉，天气十分酷热。

但为了热烈欢迎，远道而来的樱花半导体考察团。

身为公司总经理的汪学斌。

还是无惧炎热，带着公司高层，在办公楼前列队等候。

之所以如此热忱。

当然因为他对这一次的合作交流，抱有非常大的期望。

公司虽然从事工业气体研制生产很多年。

但过去市场需求有限、销售业绩不高，也不太可能下大力气进行相关技术研究。

谁也没想到……

这两年龙国的制造业，像是坐上了火箭似的，增长势头无比迅猛。

金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导体、医疗器械……

因为工业生产中不少环节，是不能直接暴露于空气之中，需要特殊气体参与反应。

所以制造业越发达，对工业气体的需求量就越大。

如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。

汪学斌还不至于那么头疼。

毕竟这些常用工业气体的加工制备，技术工艺早就相对成熟。

可问题是……

龙国的电子信息产业，发展速度太迅猛了。

为了追求高精度、高质量、高性能，电子信息产业，对工业气体不仅需求量很大，要求还很高。

哪怕只是生产液晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气，纯度都要比食品工厂的高很多。

于是乎。

有关部门就将工业气体，分成了大宗气体和特种气体这两大类。

将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气体研制任务，从公司剥离了出去。

让公司专门负责，研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。

这个任务，真是光荣又艰巨啊！

光荣在于研制特种气体，有力支撑龙国的高端制造业发展，是利国利民的一件大好事。

艰巨在于特种气体，是真不好研制。

就拿生产芯片来说。

从最开始制造硅片，将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆，就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。

而开始进行光刻加工的时候，需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。

刻蚀清洗，除了常用的几种特种气体，还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。

离子注入的时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。

掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。

除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特种气体。

林林总总加一起。

要想生产高性能的合格芯片，竟然需要一百多种特种气体。

需要的特种气体种类多，都还不算什么难事。

真正让人头疼的，是这些特种气体的纯度要求太高了。

用于普通工业生产的大宗气体，纯度只要达到了99.99%，就已经很不错了。

而用于电子科技产品的呢？

哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶体管和晶闸管，纯度都要百分之九十九点九九九。

而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片，需要的纯度，必须高于百分之九十九点九九九九。

特种气体的纯度越高，越有利于芯片加工生产，可以大大提高芯